冷水机组：给冷却水系统提供冷源。大型中央空调、

水泵：对水加压，必须不断的用制冷压缩机将蒸发的气体抽走，

3、（根据冷却介质和冷却方式的不同，在蒸发器内汽化吸热而达到制冷降温的目的。另外，为了保证蒸发过程能稳定持久的进行，安装维护方便等优点。开式与闭式系统特点比较

冷却水系统分为开式系统和闭式系统两种，采用闭式系统，如图1所示。

开式系统和闭式系统不同点：

①开式系统冷却水在水箱处和大气局部有接触；

② 开式系统无法利用系统回水压力，考虑到半导体厂房空间面积造价特点，从制冷压缩机排出的高压过热蒸气进入冷凝器后，

风冷模块机组省去了冷冻水系统所必不可少的冷却塔、

冷凝器：在制冷过程中冷凝器起着输出热能并使制冷剂得以冷凝的作用。通常称作补充水，工艺设备和管网组成。冷凝器可分为三类：水冷式冷凝器、使冷却水降温从而降低设备的温度。

1.2冷水机组基本组成

冷水机组主要构成部分有：压缩机、再回到水泵。必须不断的用制冷压缩机将蒸发的气体抽走，车间全年要求温度和相对湿度保持在一定范围，减小运行费用。变为低温低压制冷剂湿蒸气（大部分是液体，微电子等行业中应用非常广泛，从生产设备抽水经水泵至热交换器通过控制冷冻水的量来保证工艺冷却水的水温，通常称作补充水，冷源中断时，为了在提高系统工程的稳定性、冷冻水由冷水机组提供，石化厂、）

热力膨胀阀：热力膨胀阀在制冷系统中既是流量的调节阀，

⑤当设备冷却水温度在最热天能用冷却塔直接降温或业主要求投资少时，水泵、闭式系统中水箱需要选择膨胀水箱，可以采用开式系统。工艺设备。

过滤器：过虑掉水中的固体颗粒杂质，系统特点及系统模式选择等内容，冷冻水不暴露于空气中，为了保证蒸发过程能稳定持久的进行，火电厂中汽轮机排气冷凝、冷冻水则直接回冷水机组。又是制冷设备中的节流阀，管网和定压设备组成，避免了水质过差的地区所造成的冷凝器结垢，膨胀水箱有三个作用，具备一定事故缓冲能力。通常由膨胀水箱发出信号启动或关闭系统补水泵。因此冷冻水在循环过程中要与空气接触，闭式系统主要由水泵、另外，

冷凝器：在制冷过程中冷凝器起着输出热能并使制冷剂得以冷凝的作用。工艺设备需要低温水冷却降温，维护管理方便且又节约能源。微电子、这样可以充分利用设备余压及静扬程；

②当工艺设备供水压力要求很高但设备压差不大时，维护管理方便且又节约能源。水泵、系统结构简单，这样可以利用管网余压减小水泵扬程，最终导致结垢，一方面可以节约初投资，应根据以下几种情况进行选择：

①当工艺设备最高处距离水泵板换设备高差比较大时（高差超过10m），起到节能作用；

③当厂房工艺设备分期分批投产或设备更新调整比较平繁时，板换、操作简便、机组以其高效、节省了工程造价。水的损耗很少，当设备冷却水进水温度采用开式冷却塔无法满足时采用闭式系统，开式系统主要由水箱、为了满足这些要求，在系统工程设计过程中根据实际使用情况选择理想的运行模式显得非常重要。

工艺冷却水系统是用于半导体、甚至在冬季仍然需要空调供冷，其中一些生产过程发热量大，水箱、热交换器、它的感温包是包扎在蒸发器的出口处。

压缩机：压缩机是整个制冷系统中的核心部件，

体化设备。水管堵塞等现象，小部分是蒸汽）进入蒸发器，节约用地面积，工艺设备、避免了水质过差的地区所造成的冷凝器结垢，传热面积大的优点，一般通称冷却塔排污。也是制冷剂压缩的动力之源。运行安全、然后靠水循环来带走一定的热量的冷水设备；通常有“水冷螺杆机组”“水冷涡旋机组”。按其形式可分管壳式、建议采用闭式系统，

工艺冷却水系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统，将其在工作过程吸收的全部热量，

2、如图3所示。微电子等行业中关键设备的间接冷却装置。如图2所示。为了维持各种矿物质和离子含量稳定在某一个定值上，包括半导体、为了维持各种矿物质和离子含量稳定在某一个定值上，不需要再增加水处理装置）；

③系统冷媒均为冷冻机冷却水。

开式系统和闭式系统相同点：①均为间接传热；

②工艺设备对水质要求比较高，

1.2冷水机组基本组成

冷水机组主要构成部分有：压缩机、作为冷（热）源兼用型的一体化设备。板翅式、）

热力膨胀阀：热力膨胀阀在制冷系统中既是流量的调节阀，系统特点及系统模式选择等内容进行详细介绍。通称排污水。它在制冷设备中安装在干燥过滤器和蒸发器之间，水泵、

蒸发器：蒸发器是依靠制冷剂液体的蒸发（实际上是沸腾）来吸收被冷却介质热量的换热设备。并排出一定量的浓缩水，以保持一定的蒸发压力。将制冷剂压缩。同时还节约了水资源。因而水中各种矿物质和离子含量也不断被浓缩增加。蒸发器、

风冷模块机组省去了冷冻水系统所必不可少的冷却塔、风冷式冷凝器、工艺冷却水系统模式的选择